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半導體業廢棄物資源化技術手冊

(7) 蝕刻(etch). 晶圓曝光處理，由顯影液將曝光區之正光阻溶解後，再經過. 蝕刻去除曝光區之絕緣層，而留下之部份即為所需要之電路圖。 蝕刻方式可分為乾蝕刻及濕蝕刻， ...

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