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高密度電漿設備之開發與乾蝕刻應用蘇天佑、武東星

本論文係結合靜電式探針（Langmuir probe）的檢測技術應用，研究探討在感應耦合式高密度電漿系統中，經由腔體壓力. 、ICP 功率、RF功率以及氣體流量等參數的改變，量測其 ...

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