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VLSI概論 - 五南圖書

高深寬比的乾蝕刻製程需要高密度電漿；降低阻容延遲(RC delay)使用低介電常數材料 ... 或兼系主任） 專長：半導體元件、物理VLSI製程設備及廠務奈米科技積體電路構裝.

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