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半導體乾蝕刻技術pdf
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微製程概論(IC 及TFT/LCD) - 遠東科技大學
乾氧化法(Dry oxidation) ... 化學氣相沈積(CVD)技術是半導體積體電路製程中運 ... 乾式蝕刻法是利用氣體分子或其產生的離子及自由基,對晶圓上的材質進行.
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