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常壓電漿原理、技術與應用關鍵詞

熟的電漿技術多在真空製程下進行，而有諸多缺點，如抽真空耗費時. 間、真空設備與維護費昂貴、物品 ... Vapor Deposition）成長薄膜、半導體製程的電漿乾蝕刻（Plasma.

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