8、蝕刻(Etching)及研磨技術. l 蝕刻參數. l 電漿乾蝕刻原理及其應用. l 乾蝕刻的限制與優缺點. l 濕蝕刻的限制與優缺點. l 化學機械研磨(CMP). DAY 3. 單元二:半導體 ...
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