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蝕刻參數對矽淺溝槽圖形影響與研究

中興大學機構典藏DSpace 系統致力於保存各式數位資料（如：文字、圖片、PDF）並使其易於取用。 ... 所以利用電漿乾蝕刻矽溝槽將是本研究所要探討的主要重點。

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