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半導體圓筒狀高密度電漿蝕刻機臺: 中文版第一版Design a ...

它由傳統的曝光和電鑄技術製造而成。 ... 為了克服製造工藝的困難，提出了半導體IC工藝金屬筒的圓筒型HDP等離子體乾蝕刻的新概念，並已經用於專利。

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