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半導體 元件由矽土製成矽晶圓, 再經數百個製程步驟,才製作出256M級的DRAM。 ... 氧化和擴散高溫爐、離子植入機、乾蝕刻機、電子束蒸鍍機、濺鍍機、化學機械研磨機等。
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#23半導體乾蝕刻技術 - 金石堂
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