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半導體乾蝕刻技術 - 金石堂

乾蝕刻技術 作為半導體元件的微縮、高積體化的手段，與微影技術構成雙璧的關鍵技術，所參與的工程師人數也幾乎與微影相同的多。微影技術由於解析度取決於光波長和NA（透鏡的 ...

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