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Etch - 電漿蝕刻產品

主要的技術，反應離子蝕刻(RIE)，是用離子(帶電微粒) 轟擊晶片表面來去除材料。 ... Lam Research的電漿蝕刻系統可提供形成精確結構所需的高效能、高生產力功能─ 無論 ...

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