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等離子乾蝕刻 - 矽碁科技股份有限公司

由於乾蝕刻比濕蝕刻具有等向性蝕刻以創建高深寬比結構的獨特能力，因此目前在印刷電路板和半導體製造製程中皆使用乾蝕刻。且此過程是完全安全的，無對環境有危害性。

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