其也被称为干式蚀刻,因为常规蚀刻工艺是使用腐蚀性酸通过湿化学法进行的。 ... 分解氧化层; 去除光刻胶(“剥离”); 矩阵灰化,用于分析; PTFE 的蚀刻; 半导体的结构化 ...
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