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化學反應模擬器
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關鍵詞(Keywords) 摘要(Abstract)
器內金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)之熱流場. 與化學反應變化。 ... 計畫與工研院機械所共同開發之噴灑頭反應器。 ... 本研究以ANSYS-FLUENT 模擬反應器腔.
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