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化學反應模擬器
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集束型化學氣相沈積製程設備模擬器及訓練器之軟體設計製作
圖2-18 化學物質自動填充裝置外觀圖。 2.2.2.2. 臭氧產生機( Ozone Generator ). 臭氧產生機在整個APCVD 的薄膜反應相當重要,因為 ...
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