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物理氣相沈積PVD -電子束蒸鍍（E-beam） | 國家實驗研究院

透過加速電壓的功率調整，即可調整加熱的溫度，使其可控制薄膜沉積的速率。 △ (圖二)E-gun電子槍金屬蒸鍍系統構造示意圖. 蒸鍍系統優點.

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