設備種類:HITACHI SU3500; 設備能力: 1. 影像解析度: 7 nm (加速電壓3kV、SE模式) 10 nm (加速電壓5kV、BSE模式) 2. 加速電壓:0.3~30kV 3. 倍率:x5~300,000 ...
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