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電性故障分析(EFA) - MA-tek 閎康科技

在SEM 環境下，以低加速電壓分析可清楚且微觀地觀察奈米級電晶體的表面形貌，並可進行電性量測與準確定位失效點，進而推導出元件的失效模式；而低加速電壓的電子束亦可 ...

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