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加速電壓
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以電子顯微鏡為基礎之電子束曝光機的改裝與應用
但是低壓時電子束. 微影技術常是利用二次電子對電子阻膠進行曝. 光,當提高加速電壓時,二次電子分布變廣,. 順向散射電子曝光逐漸變成主要因素,所以曝. 光的線寬也會較窄 ...
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