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分析型場發掃描式電子顯微鏡

本儀器由掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)與聚焦式離子束顯微鏡(FIB)及能量分散式光譜分析儀(EDS)所組成。能提供試件樣品在高/低加速電壓之掃描觀察可獲得超高解析影像之 ...

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