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場發射掃描式電子顯微鏡(SEM) - 前瞻理工科技研究中心

加速電壓 ：最小加速電壓0.02kV, 最大加速電壓30kV, 電壓可調整之最小刻度10 Volt · 解析度：1.0 nm at 15kV at WD= 2mm。 · 電子束流：4pA ~ 20pA ...

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