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加速度計位移
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硬核矽睿“芯”之MEMS加速度计技术原理和应用指南
MEMS加速度计是采用硅来制作弹簧和质量块,采用梳状齿来实现可变电容,并通过测量电容值的变化来检测位移。 QMA7981 3 ...
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