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常見電容式mems加速度計的工作原理詳解 - 人人焦點

兩平行板電容值之差△C與加速度成正比，因此只要測量△C就可以確定加速度的大小。 伺服電子線路主要由位移檢測電路、交流放大和同步解調電路、積分校正 ...

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