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模拟表面微加工加速度计 - COMSOL

本篇博客中，我们模拟了加速度计中的电场和力，并重点介绍了COMSOL Multiphysics 5.0 版本中新增 ... 我们在初始研究中分析了施加50 g 加速度后模型多晶硅域中的位移。

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