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CMOS-MEMS 電容式加速度計的研發 - 國立交通大學機構典藏

統受到加速度時，與其造成的位移成正比的關係，藉由此位移變化造成的電容、. 電阻或溫度的改變，經由電性的輸出來判斷外在環境給予加速度的大小，其感測. 流程如(圖1-4)所 ...

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