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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

本文希望以筆者在清華大學微機電實驗室所開發之一系列微型加速度計為例，. 說明CMOS MEMS 元件設計、製造與測試的 ... 接量測位移量，即可得到相對應的加速度大小。

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