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CN101877311B - 一种调节TiN金属栅功函数的方法

本发明属于微电子技术领域，具体为一种有效调制TiN金属栅功函数的方法。 ... 根据积累区电容大小，利用公式（2）通过计算可以求得栅极等效氧化层厚度：.

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