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金屬氮化物之功函數調變研究 - 國立交通大學機構典藏

化鎢功函數調變範圍不大，在目前半導體高溫製程上不太適用。 ... 藉由量測VFB 對氧化層厚度(Tox)的關係[公式2-1]以及利用[公式2-2]. 來求得金屬功函數參數。

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