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博碩士論文108521021 完整後設資料紀錄

然而為了得到更好的氮化鎵品質就必須要克服矽基板與氮化鎵的晶格常數差、熱膨脹係數不同所產生的缺陷，例如：螺旋差排、刃差排，以及晶片翹曲與龜裂的 ...

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