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光機械共振腔 - 政府研究資訊系統GRB

關鍵字：懸浮氮化矽薄膜；奈米機械振盪器；三維光子共振腔；參數放大器 ... 高品質因子Q 與低模態體積Vm的光學共振腔將可增強光與物質間的交互作用，因此設計具有高Q ...

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