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光阻劑- 維基百科，自由的百科全書

微影根據在顯影過程中曝光區域的去除或保留可分為兩種－正性光阻劑（positive photoresist）和負性光阻劑（negative photoresist）。 正性光阻劑之曝光部分發生光化學反應 ...

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