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光阻劑危害
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CN1966635A - 水相碱性光阻清洗组合物及其使用方法
行业内已致力于研发避免使用会对操作人员及环境造成危害的有机溶剂的光阻清洗剂。 美国专利第6,635,118号揭示一种移除光阻、聚酰亚胺、聚酰胺酸等高分子残留物的水 ...
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