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光源能量與聚焦參數對顯影後剖面之特性探討 - 博碩士論文網
本論文針對覆晶封裝過程的微影製程之曝光技術,使用紫外光為曝光光源,以調整曝光光源之能量大小與曝光焦距。探討改變不同的曝光能量與曝光焦距對於圖案化臨界尺寸以及 ...
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