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電子顯微鏡、粗糙度儀、干涉儀只要這一台

光碟 凹痕（6000×）. 可高精度量測陡峭形狀. 非接觸式量測. 鑽石刀具（400×）. 可瞬間量測指定部位. 不需進行水平調整. 針尖半徑2 μm 解析受限.

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