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看到了！電子與光子顯微術讓原子現形 - 科技魅癮

張玉明副主任指出，光學與電子顯微鏡的檢測技術，其實是具互補性的。在半導體上千道製程中，不斷在晶片上堆疊材料與結構，電子顯微鏡雖然可以達到極高的 ...

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