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一文读懂光刻机的发展历程 - 芯扒客

利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见 ... 目前商业用途系统的离子束为液态金属离子源，金属材质为镓，因为镓元素 ...

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