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什麼是光刻機?一台上億的ASML光刻機工作原理分享 - 人人焦點

光刻機 工作原理：光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到矽片上 ...

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