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高端光刻机为什么难“买”又难“造”？ - 维科号

因此光刻机是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，具备极高的单台价值。 如果单纯从工作原理的角度来解析，光刻机并不复杂。“以光为媒，刻化微纳于方寸 ...

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