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光刻機用途
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https://technews.tw/2020/10/22/asml-mask-aligner/
Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越?
當今世界光刻機三大製造商是:日本Nikon、Canon 和荷蘭ASML, ... 用途的半導體,優先考慮的都是可靠性,因此光刻機領域其實也各有用途的對應設計。
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