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儀科中心攜手天虹科技打造12吋叢集式ALD設備

國家實驗研究院儀科中心與國內半導體設備供應商天虹科技合作，挑戰半導體關鍵製程設備掌握於國外設備商的硬仗，以「原子層沉積技術」（Atomic Layer ...

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