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电子散斑干涉术 - 广东工业大学学报

摘要: 简要介绍电子散斑干涉计量技术的实验系统组成,实验方法以及面内位移,离面位移的测量原. 理, 并讨论了散斑的大小对测量系统的影响1. 关键词: 散斑; 电子散斑干涉 ...

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