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光学自由曲面的像散补偿型干涉检测装置与检测方法 - Google ...

本发明采用了像散补偿的方法，可以检测一类以像散为主要面形误差成分的光学自由 ... 方向为z轴，垂直于实验台的方向为X轴且符合右手坐标系，对应到显示器中水平方向为X ...

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