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二次離子質譜儀(SIMS) - MA-tek 閎康科技

二次離子質譜儀具有優異的偵測極限，可量測出固體材料中元素含量至百萬分之一或以下。 ... 分析，藉由相對標準品的量測，摻雜元素所在的接面深度可被清楚地定義出來。

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