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儲存與運輸EUV倍縮光罩的挑戰

如同所有倍縮光罩一樣，運用在EUV微影技術上的倍縮光罩也須仰賴倍縮光罩傳送盒，以利安全存放，並於微影圖案成形、檢查、清潔與修復期間發揮保護作用。

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