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微影制程之《Mask/Reticle》篇（转） - 智于博客

光罩 (土话叫光刻版)，英文名叫Mask，也叫Reticle(因为早期的对位是十字线) ... 所以它的工艺是普通光罩的两倍以上，因为多一层shifter并且多了shifter的 ...

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