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EUV光罩市場領導廠商IMS，台積電買股權引三星關切

英特爾2009 年初步投資後，2016 年更收購IMS。2022 年6 月英特爾出售約20% 股份給私募股權企業貝恩資本(Bain Capital)。 IMS 的「多光束光罩寫入設備」可 ...

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