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光罩基本資料

為了區別接觸式曝光中使用的光罩，投影式曝光中使用的光罩又被稱為倍縮式光罩（reticle）。 光罩（Mask）：當鉻膜玻璃上的圖像能覆蓋整個晶圓時稱之為光罩 ...

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