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6 Photolithography

•從光罩或倍縮光罩(reticle)轉印圖案至. 光阻上. • 三個基本步驟：. –顯影 ... •運用於製作光罩及倍縮光罩(reticles). 運用於製作光罩及倍縮光罩(reticles). •達到最小尺寸 ...

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