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光罩製作流程

為了區別接觸式曝光中使用的光罩，投影式曝光中使用的光罩又被稱為倍縮式光罩（reticle）。 光刻掩模设计与加工制造技术分享知乎知乎专栏. 隨著電晶體越來 ...

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