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光罩- 維基百科，自由的百科全書

光罩 上的圖形縮小4~10倍（現代微影機一般都是縮小4倍）後透射在晶圓表面。為了區別接觸式曝光中使用的光罩，投影式曝光中使用的光罩又被稱為倍縮式光罩（reticle ...

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